Mechanische Prüfung dünner Schichten – Bulge Test

Mithilfe des Bulge Test können die mechanischen Eigenschaften dünner Schichten untersucht werden. Die Probe sitzt auf einer Druckkammer, über die durch Stickstoffzufuhr der Druck und damit die Belastung geregelt werden kann. Es können monotone, zyklische und Kriechversuche bis 100 °C realisiert werden.

Für weitere Informationen verweisen wir an dieser Stelle auf unsere Veröffentlichungen:

Preiß E., Lyu H., Liebig JP., Richter G., Gannott F., Gruber PA., Göken M., Bitzek E., Merle B. Microstructural dependence of the fracture toughness of metallic thin films: A bulge test and atomistic simulation study on single-crystalline and polycrystalline silver films. Journal of Materials Research 34 (2019), S. 3483-3494

Merle B. Creep behavior of gold thin films investigated by bulge testing at room and elevated temperature. Journal of Materials Research 34 (2019), S. 69-77

Preiß E., Merle B., Göken M. Understanding the Extremely Low Fracture Toughness of Freestanding Gold Thin Films by In-situ Bulge Testing in an AFM. Materials Science and Engineering A-Structural Materials Properties Microstructure and Processing 691 (2017), S. 218-225

 

 

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