Mechanische Prüfung dünner Schichten – Bulge Test

Mithilfe des Bulge Test können die mechanischen Eigenschaften dünner Schichten untersucht werden. Die Probe sitzt auf einer Druckkammer, über die durch Stickstoffzufuhr der Druck und damit die Belastung geregelt werden kann. Es können monotone, zyklische und Kriechversuche bis 100 °C realisiert werden.

Für weitere Informationen verweisen wir an dieser Stelle auf unsere Veröffentlichungen:

E. W. Schweitzer and M. Göken. In situ bulge testing in an atomic force microscope: Microdeformation experiments of thin film membranes. J Mater Res, 22(10):2902–2911, 2007.

B. Merle and M. Göken. Fracture toughness of silicon nitride thin films of different thicknesses as measured by bulge tests. Acta Materialia, 59(4):1772–1779, 2011.

B. Merle, E. W. Schweitzer, M. Göken. Thickness and grain size dependence of the strength of copper thin films as investigated with bulge tests and nanoindentations. Philosophical Magazine, 92(25-27):3172-3187, 2012.

R. Meszaros, B. Merle, M. Wild, K. Durst, M. Göken, L. Wondraczek. Effect of thermal annealing on the mechanical properties of low-emissivity physical vapor deposited multilayer-coatings for architectural applications, Thin Solid Films, 520(24):7130-7135, 2012.

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