Nanoindenter – KLA-Tencor G200

KLA-Tencor Nanoindenter G200 für die instrumentierte Härteprüfung und für Nanoscratch-Tests

Dieses Gerät ermöglicht es, Härte und Modul kontinuierlich während der Belastung aufzunehmen, weshalb Tiefenprofile gemessen werden können.

Installierte Optionen:

  • Continuous Stiffness Modul (CSM)
  • XP und DCM-II Messköpfe
  • Nanovision Stage (AFM Aufnahmen mit dem Indenter)
  • Hochtemperaturzelle (bis 150°C)
  • optisches Mikroskop
  • Lateral Force Sensoren
  • Nanosuite 6 Software

Spezifikationen:

  • max Last 500 mN (oder 30 mN mit DCM-II Messkopf)
  • Tiefenauflösung <0.01 nm
  • Kraftauflösung 50 nN
  • Positionierungsgenauigkeit 1 µm (2 nm mit Nanovision Stage)

 

 

Verantwortliche Mitarbeiter:

PD Dr.-Ing. Benoit Merle

Gruppenleiter Nanomechanik

Department Werkstoffwissenschaften (WW)
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)

Sebastian Krauß, M. Sc.

Doktorand

Department Werkstoffwissenschaften (WW)
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)