Nanoindenter – KLA-Tencor G200

KLA-Tencor Nanoindenter G200 für die instrumentierte Härteprüfung und für Nanoscratch-Tests

Dieses Gerät ermöglicht es, Härte und Modul kontinuierlich während der Belastung aufzunehmen, weshalb Tiefenprofile gemessen werden können.

Installierte Optionen:

• Continuous Stiffness Modul (CSM)
• XP und DCM-II Messköpfe
• Nanovision Stage (AFM Aufnahmen mit dem Indenter)
• Hochtemperaturzelle (bis 150°C)
• optisches Mikroskop
• Lateral Force Sensoren
• Nanosuite 6 Software

Spezifikationen:

• max Last 500 mN (oder 30 mN mit DCM-II Messkopf)
• Tiefenauflösung <0.01 nm
• Kraftauflösung 50 nN
• Positionierungsgenauigkeit 1 µm (2 nm mit Nanovision Stage)

Verantwortliche Mitarbeiter: